




電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體
隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展,國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面,也已進(jìn)入在線分析階段,且分析檢測的靈敏度高,可以實現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而,由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測量,一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化,即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中,以該溶液為樣品,才能選定合適的檢測手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級,因此,對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。
特種氣體 (Specialty gases) :指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,特種氣體廠家, 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多, 通常可區(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等,特種氣體出售, 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。

特種氣體種類也很多,主要分為四類,即高純氣體、零點氣體、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體以及一般混合氣體。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。化工特種氣體在不同的情況下是不一樣的,一般而言是氧氣,氮氣,寧波特種氣體,二氧化碳,氫氣等。特種氣體有很多種,若說泛指各種鋼瓶裝的氣體用途很廣無法細(xì)說,就我專注的電子氣體來說一說好了,電子氣體指是用在半導(dǎo)體、面板、LED、太陽能制造時用的氣體.

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